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1．真空清洗工作原理：清洗剂中残存的气体较多，含气量是水的8-10倍，超声波振动子发出的超声波遇到气体（残存氧气）就会衰减，影响了超声波的精密清洗效果。超声波空化效应也难以展开，因此需要真空脱气。首先清洗篮进入清洗槽。这时气缸驱动槽盖自动关闭清洗槽，真空脱气系统启动，将槽内空气抽尽，在真空状态下可以将需要清洗的产品的狭小缝隙内气体及含在清洗剂中的气体抽出，超声波启动，摇摆装置启动，带动洗篮转动，使清洗剂可以充分进行清洗；到设定的时间后，真空释放，缸盖打开，清洗篮进入下一槽
2．真空蒸馏回收原理：
1)加热：采用导热油间接加热方式。槽体下部外附一个加热油包，外置一个导热油加热箱，加热功率为12kW。首先由发热管对导热油进行加温，再通过泵浦将加热油输送到加热油包，经过热交换后再输送回加热箱加热，如此循环。加热油包有独立的温控系统，油温R.T.～140℃可调
2)需要回收的清洗剂（溶剂1）经过泵抽入真空蒸馏回收槽，进入真空回收槽之前，首先进入一个热交换筒，在此与蒸馏回收的HC蒸汽管进行热交换。经过抽真空后，清洗剂迅速沸腾并蒸发，产生HC蒸汽，然后可在冷凝区进行冷凝回收，回收的纯净清洗剂排入储液槽，循环使用，具有自动补液循环和漂洗使用功能。
3)强力真空减压系统，配备真空减压泵，真空显示表。真空马达为西门子，设有电磁阀。真空蒸馏回收能力为200L/H，常温常压下，碳化水素的沸点为172℃，减压情况下，可以降低沸点，高温碳化水素在减压条件下迅速形成HC蒸汽，被真空泵一起抽出回收槽，在冷却箱内再形成液体，经过活性碳过滤，称为再生液，可以循环使用。
碳氢真空清洗干燥机经过碳氢真空清洗机的清洗，完全可以达到精密工业部件的清洗要求。