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用于薄层沉积的铟电镀液

放大字体  缩小字体发布日期:2012-08-10  浏览次数:1132
核心提示:提供了铟电镀液,所沉积的膜层成分单一、均匀、光滑,基本无缺陷,电镀效率接近100%,且重复性好。在一实例中,镀液中包含铟提供源,柠檬酸及其共轭对盐,以及溶剂。

公开日 20090806

发明人 WANG J-X, AKSU S, BASOL B

受让人 Solopower, Inc.

提供了铟电镀液,所沉积的膜层成分单一、均匀、光滑,基本无缺陷,电镀效率接近100%,且重复性好。在一实例中,镀液中包含铟提供源,柠檬酸及其共轭对盐,以及溶剂。在pH小于4.0的条件下所制备的亚微米厚度的铟膜,其纯度和电镀效率都接近100%。这样的铟膜层可用于诸如薄膜太阳能电池等电子设备的制造。

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