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化学镀钴合金薄膜:用作垂直记录磁介质的化学镀钴合金

放大字体  缩小字体发布日期:2013-04-11  浏览次数:1146
核心提示:利用垂直磁化模型提出的垂直记录体系适合于高密数字记录[60],与横向记录不同的是垂直磁记录过程不受退磁场的影响,该体系本身能产生超高密记录,可以达到l000×106位/英寸2[61]的超高密能力。

横向记录磁介质不断得到改善,而且它们的表面记录密度也一直在增加,硬磁盘的密度以l00倍/dec[47~49]的速度增加,达到了106位/英寸2(大生产水平[50]为I.44×106位/英寸2,实验室水平[51,52]为5×106位/英寸2),并且已经提出了10×106~20×106位/英寸2的计划,最近据IBM[56]报道达到了20×106位/英寸2的实验室水平,NEC公司利用高Bs[57]的MR头可以达到40×106位/英寸2的水平。横向记录介质要求沿介质表面横向磁化,产生较高的Hc和较低的饱和磁化强度(Ms),横向记录体系存在记录极限。

利用垂直磁化模型提出的垂直记录体系适合于高密数字记录[60],与横向记录不同的是垂直磁记录过程不受退磁场的影响,该体系本身能产生超高密记录,可以达到l000×106位/英寸2[61]的超高密能力。为了了解垂直记录体系,介质必须具有垂直磁性各向异性,也就是说,它必须容易沿介质垂直方向磁化,溅射沉积的CoCr膜层是一种较好的垂直记录磁介质[62,63],利用磁晶C轴各向异性来获得垂直磁性各向异性,通过nm级[64~67]的细柱状结构和成分分离获得垂直取向的hop结构和异向形状,这种独特的性能可以分离出铁磁晶体。

研究化学沉积垂直磁记录介质的第一个对象是CoWP膜层[68,69],它由c轴垂直取向的hcp晶体组成,其性能不断得到改善,并开发了CoMnP、CoNiMnp[70,71]、CoNiReMnP[72~78]和CoNiReP[79~83]合金膜层,文献[2~4,84,85]中追溯了化学镀垂直磁记录介质的历史,表19—1列出了CoNiP和CoNiReP垂直磁记录介质的典型槽液组成和操作条件,表19-2列出了它们的磁性。

经过进一步研究使槽液组成和合金体系得到简化,获得了具有垂直磁性各向异性的CoNiP三元合金层[86~89]。下节中将重点讨论CoNiP垂直磁记录介质的显微结构与磁性的关系。

1化学镀CoNiP垂直磁记录介质的显微结构

图19—2表示化学镀CoNiP垂直磁记录介质的典型RHEED图和TEM明视场图,从RHEED图可以看出,它们由C轴垂直取向的hep结构组成,其垂直各向异性源自晶体结构产生的磁晶各向异性,并由界面清晰、直径为30nm的粒子组成,具有柱状结构产生的显微形状异向,从而提高了垂直各向异性[89]。

化学镀CoNiP垂直磁记录介质的典型RHEED图和TEM明视场图

图19-2化学镀CoNiP垂直磁记录介质的典型RHEED图和TEM明视场图

为了详细研究垂直记录介质的显微结构,讨论了它们的成分分离条件,这是溅射CoCr膜层获得优异性能的主要显微结构之一,利用选择性刻蚀方法,铁磁成分被溶解,留下非磁成分。

图19—3表示化学镀CoNiP膜层刻蚀处理前后[93]的典型TEM明视场图。镀态膜层由直径为30nm、界面清晰的粒子组成,经化学刻蚀后的膜层图像上有许多几纳米大小的斑点,图19—3(c)中显示每个粒子中的这些斑点像分散的不对称六角形,形成的星状图形由直径为10nm的磁心、桥臂长约20nm的图案组成。镀态和化学刻蚀后的磁性分析表明,斑点是富C0的痕迹,铁磁体成分被刻蚀处理溶解,不对称六角形的星状图形为非磁性成分[91]。另一方面,在较低Hc的膜层中观察不到刻蚀图案,可以认为,成分分离必须具有高Hc。


图19-3(a)镀态化学镀CoNiP膜层的典型TEM明视场图;(b)化学刻蚀后的TEM明视场图;(c)相分离的粒子显微结构示意模型

2自旋回波59C0核磁共振(NMR)研究CoNiP介质的分离条件

采用自旋回波59CoNMR方法来更详细地研究特征结构,该方法能够更有力地阐述CoCr介质[95~97]的成分分离条件,图19-4提供了具有高、低Hc值的CoNiP膜层以及C035Ni65合金样品[98]的典型NMR光谱。以前对均匀CoNi合金样品的59CoNMR光谱研究表明,随着Ni含量[99]的增加,C0峰值响应频率从225MHz开始呈线性降低。从图l9—4可以看出,虽然CoNi膜层的平均组分与大块合金样品基本相同,但它们的光谱较宽,表明它们的状态不均匀。高Hc膜层的光谱表明,在较高频率区(185MHz附近)有一个明显的“肩角”,与C060Ni40合金(其成分比平均组成富Co)基本一致。因此,可以断定膜层中存在富C0成分,并且H。较高的膜层组成更不均匀,这个结果与前面描述的化学刻蚀结果相吻合。

镀态化学镀CoNiP膜层的典型TEM明视场图

图19—4高Hc和低H。CoNiP膜层以及C035Ni65合金的典型NMR光谱

 

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