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电子束蒸镀

放大字体  缩小字体发布日期:2012-08-10  浏览次数:2439
核心提示: 电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料,电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发,并成膜。电子枪有直射式、环型和e型枪之分。目前用得最广泛的是e型枪,它是由电子轨迹磁偏转2700成“e”字形而得名。
 电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料,电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发,并成膜。电子枪有直射式、环型和e型枪之分。目前用得最广泛的是e型枪,它是由电子轨迹磁偏转2700成“e”字形而得名。图9-4为e型电子枪结构图。这里位于坩埚下面的热阴极发射电子,电子经阴极与阳极间的高压电场加速并聚焦,由磁场使之偏转打到坩埚内镀膜材料上。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度,最高可达l09w/cm2,加热温度可达3000~6000℃,可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中,可避免坩埚材料的污染,制备高纯薄膜;另外,由于蒸发物加热面积小,因而热辐射损失减少,热效率高。但结构较复杂,且对较多的化合物,由于电子的轰击有可能分解,故不适合多数化合物的蒸镀。

图9-4 e型电子枪结构图

电子束蒸镀常用来制备Al、C0、Ni、Fe的合金或氧化物膜,Si02、Zr02膜,抗腐蚀和耐高温氧化膜。

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