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多阴极离子镀

放大字体  缩小字体发布日期:2012-08-16  浏览次数:678
核心提示: 若在基板(主阴极)旁侧设置多个热阴极(见图9-19),这就成了多阴极型离子镀。这里以热阴极和阳极维持放电,并利用热阴极发射的电子促进气体电离。

若在基板(主阴极)旁侧设置多个热阴极(见图9-19),这就成了多阴极型离子镀。这里以热阴极和阳极维持放电,并利用热阴极发射的电子促进气体电离。由于热阴极发射大量电子,即使在低气压也能维持放电,多阴极型离子镀的工作气压只需0.1Pa,基片放电电压只需200V,离化率可达l0%,可进行活性反应离子镀。

图9.19多阴极型离子镀

1一阳极2~蒸发源3—基板4~产生热电子阴极5一可调电阻6—灯丝电源7一直流电源&一真空室9一真空系  。统10一蒸发电源11一进气口

 

      多阴极型离子镀的放电电流大,而且放电电流变化范围也大;同时多阴极型基板主阴极维持不变的放电电压,使轰击基板的粒子能量不致太高而造成大量缺陷和过高温升。此外,多个阴极配置在基体周围,扩大了阴极区,改善了绕射性。

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