若在基板(主阴极)旁侧设置多个热阴极(见图9-19)，这就成了多阴极型离子镀。这里以热阴极和阳极维持放电，并利用热阴极发射的电子促进气体电离。由于热阴极发射大量电子，即使在低气压也能维持放电，多阴极型离子镀的工作气压只需0.1Pa，基片放电电压只需200V，离化率可达l0%，可进行活性反应离子镀。
图9．19多阴极型离子镀 1一阳极2～蒸发源3—基板4～产生热电子阴极5一可调电阻6—灯丝电源7一直流电源＆一真空室9一真空系 。统10一蒸发电源11一进气口
多阴极型离子镀的放电电流大，而且放电电流变化范围也大;同时多阴极型基板主阴极维持不变的放电电压，使轰击基板的粒子能量不致太高而造成大量缺陷和过高温升。此外，多个阴极配置在基体周围，扩大了阴极区，改善了绕射性。 |
