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真空溅射镀膜设备

放大字体  缩小字体发布日期:2012-09-24  浏览次数:1171
核心提示:中标分类: 机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
 

英文名称: Vacuum sputtering coating plant

替代情况: 替代JB/T 8945-1999

中标分类: 机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

ICS分类: 流体系统和通用件>>23.160真空技术

发布部门: 中华人民共和国工业和信息化部

发布日期: 2010-02-11

实施日期: 2010-07-01

归口单位: 全国真空技术标委会

起草单位: 广东中环真空设备有限公司;成都南光机器有限公司;大连远东真空技术有限公司;沈阳真空技术研究所

出版社: 机械工业出版社

出版日期: 2010-07-01

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