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化学转化溶液中各化学成分起何种作用?

放大字体  缩小字体发布日期:2012-05-07  浏览次数:813

以下列配方为例,简述如下:

 

磷酸(H3P04)

50---60mL/L

铬酐(Cr03)

20~25g/L

氟化氢铵(NH4HF2)

3~35g/L

磷酸氢二铵[(NH4)2HP04]

2~25g/L

硼酸(H3B03)

1~1.2g/L

温度

30~35℃

时间

3~5min

 

(1)磷酸。磷酸是成膜的主要成分,无磷酸不能成膜。磷酸低于或超过工艺规范浓度,会导致膜层过薄,抗蚀能力降低。

 

(2)铬酐。铬酐是氧化剂,是成膜的必要成分,若此溶液中无铬酐成分,则溶液的腐蚀性加强,难以成膜。此工艺配方中铬酐达到7g/L即能成膜,但不宜过高于工艺配方要求。

 

(3)氟化氢铵。氟化氢铵是活化剂,在氧化溶液中_与磷酸、铬酐互相协同作用而生成致密的膜层。但若配方浓度低则不能获得转化膜,浓度过高时成膜速度加快,导致膜层过厚、疏松。

 

(4)硼酸。加入硼酸是为了稳定溶液pH值,控制转化反应速度,改善膜层外观质量。

 

   (5)磷酸二氢铵。磷酸二氢铵以稳定溶液为主,兼而有利膜层质量获得细化之用。

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