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化学转化中,工艺参数变化与膜层质量有何关系?

放大字体  缩小字体发布日期:2012-05-07  浏览次数:637

以下列配方为例进行说明。

 

磷酸(H3P04)

50---60mL/L

铬酐(Cr03)

20~25g/L

氟化氢铵(NH4HF2)

3~35g/L

磷酸氢二铵[(NH4)2HP04]

2~25g/L

硼酸(H3B03)

1~1.2g/L

温度

30~35℃

时间

3~5min

 

(1)溶液温度。当槽液正常时,溶液温度是决定膜层质量的主要因素。当溶液温度低于工艺配方时,膜层不易增厚,因而耐蚀性差;高于工艺配方时成膜速度加快,容易引起过厚,且膜层疏松。

 

   (2)处理时间。处理的时间需根据当时转化液的转化能力和温度而定,若当时转化溶液的转化能力较强,溶液温度又较高时,则转化时间要控制在工艺规范的下限;反之则应控制在工艺规范的上限。

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