电铸铜的工艺规范及其性能是什么?
发布日期：2012-05-03 浏览次数：1097
原则上，用于电镀铜的溶液均可用于电铸铜，但常用的是硫酸盐溶液。它具有成分简单、易操作控制、成本低的优点。氟硼酸盐溶液具有成分简单、对杂质不敏感、易操作控制、可使用高电流密度的优点，但成本高、溶液腐蚀性强而较少应用。其典型的工艺规范及所得铜层的性能见下表。 也可以采用焦磷酸盐电镀铜的溶液进行电铸铜。这种溶液比前两种溶液分散能力好，可得到结晶比较细微的铜层。 表电铸铜的工艺规范与铜层性能 工艺和性能 | 溶液类型 | 硫酸盐 | 氟硼酸盐 | 工艺规范 | 溶液成分I(s／L) | 硫酸铜 200～250 | 氟硼酸铜 250～450 | 硫酸 50～70 | 用氟硼酸调pH至0.15～1.5 | 温度，℃ | 20～50 | 20～50 | 电流密度／(A／dm2) | 1～10 | 8～40 | 阳极 | 纯铜或含磷0．04％～0.06％的磷铜 | 搅拌方式 | 空气或机械搅拌 | 铜层性能 | 抗拉强度／(MPa) | 205～380 | 140～345 | 伸长率(％) | 15～25 | 5～25 | 显微硬度HV | 45～70 | 40～80 | 内应力，MPa | 0～l0 | 0～10 |
11．电铸镍的工艺规范及性能是什么?各有何特点? 电铸镍常用硫酸盐、氨基磺酸盐．氯化物电铸溶液。它们的电铸工艺规范、所得镍层的性能及其工艺特点见表36-4。 表36-4电铸镍的工艺规范、镍层性能及工艺特点 工艺和性能 | 溶液类型 | 硫酸盐 | 氨基磺酸盐 | 硫酸盐．氯化物 | 工艺规范 | 溶液成分/(g／L) | 硫酸镍225～300 | 氨基磺酸镍300～450 | 硫酸镍 150～200 | 氯化镍 35～50 | 氯化镍 5～25 | 氯化镍150～200 | 硼酸35～45 | 硼酸30～45 | 硼酸30～45 | pH | 3.5～4,5 | 3.5～4.5 | 3.5～4.5 | 温度，℃ | 40～65 | 30～60 | 40～60 | 电流密度/(A／dm2) | 3～10 | l～30 | 2～5 | 搅拌方式 | 空气或机械 | 空气或机械 | 空气或机械 | 镍层性能 | 抗拉强度IMPa | 345～485 | 415～620 | 580 | 伸长率(％) | 15～25 | 10～25 | 15 | 张应力，MP8 | 12～185 | 0～55 | 350 | 显微硬度HV | 130～200 | 170～230 | |
(续) 工艺和性能 | 溶液类型 | 硫酸盐 | 氨基磺酸盐 | 硫酸盐．氯化物 | 工艺特点 | 溶液易维护，成本较低。镍层强度较低，塑性好，内应力中等，易产生结瘤与麻坑 | 成本较高，溶液温度高于70℃、pH<3时会水解。阳极钝化时，会使氨基磺酸根分解，使镍层含有硫。电铸速度快，镍层强度较高，内应力小，易产生结瘤与麻坑 | 溶液电导率高，电流效率近100％，对杂质比较敏感。镍层强度较高，内应力大，不易产生结瘤与麻坑 |
不论选用何种电铸溶液，为获得良好的镍层和防阳极钝化，必须慎重选用镍阳极。这一点在含氯化物少的氨基磺酸盐溶液中特别重要。一般都选用电解镍块或含硫去极化镍块(S镍)放入钛阳极筐中使用。 电解镍纯度很高，使用时带入杂质很少，价格便宜。缺点是溶解性能不良，当溶液中氯化物含量低时，表面容易钝化。对其进行高温退火可大大改善其阳极溶解性能。 S镍中含硫(质量分数)0．01％～0．04％，其主要优点是活性高，可在高电流密度下使用。缺点是在使用镍块中的硫会产生硫化物残渣，应防止其污染电铸溶液。 |
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