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不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结果与讨论(三)

放大字体  缩小字体发布日期:2012-04-11  浏览次数:691

3.3不同品质焦磷酸盐镀液对镀层孔隙率的影响

 

    表3列出了采用不同品质焦磷酸盐配制的镀液所获得的铜镀层的孔隙率试验结果。国产焦磷酸盐镀铜.液稍差于ACTl焦磷酸盐镀铜液,前者在镀层较薄时偶尔会出现孔隙。

 

表3不同镀铜层的孔隙率试验结果

Table 3 Porosity test results for different Cu denosRs

 

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结果与讨论(一)

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结果与讨论(二)

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结果与讨论(四)

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结果与讨论(五)

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结果与讨论(六)

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结果与讨论(七)

不同品质的焦磷酸盐对电镀铜的影响:结论

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