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铝锰合金表面直流反应磁控溅射制备氧化铟锡薄膜:前言

放大字体  缩小字体发布日期:2012-04-25  浏览次数:699

前言

AlMn系合金属于热处理不可强化的变形铝合金,具有密度低,强度适中,塑性高,焊接性能好,耐腐蚀性强,延展性好,表面光洁等优良性能,在航空航天、汽车、电子、建筑、能源及信息科学等领域中的应用越来越广泛[1-2]。但AlMn合金存在表面微观组织不均匀、光泽度低、硬度低等缺点,严重影响了AlMn合金箔材的表面性能及整体综合性能。研究者们曾用电镀、真空蒸镀、离子镀、溅射镀膜等方法[3-4]对其进行表面改性处理。其中,采用磁控溅射能在低温下制各耐磨、耐蚀、装饰、光学及其他各种功能薄膜[5],具有制备速率高,成膜黏附性好,易控制,能实现大面积制膜等优点,所制备的薄膜具有优良的光学和电学性能。磁控溅射法广泛应用于制备钢、铝表面的保护膜[6]。IT0作为纳米铟锡金属氧化物,具有很好的透明性,可以切断电子辐射,紫外线及远红外线等;ITO薄膜的可见光透光率较高,电阻率低,耐磨损,机械强度良好,化学性质稳定[7-8]。利用IT0薄膜对微波的衰减性,可防止由于外界电磁波的侵入而使电子设备产生误差和保密信息的泄露。而AlMn合金和IT0薄膜对光波都有较低的发射率,可加强在航空领域一定波长范围内的隐身作用。本文通过IT0靶对AlMn合金表面进行直流反应磁控溅射实验,使AlMn合金表面制备的IT0薄膜外形美观,强度、硬度高,并且具备一定的耐磨、耐腐性能。

 

铝锰合金表面直流反应磁控溅射制备氧化铟锡薄膜

铝锰合金表面直流反应磁控溅射制备氧化铟锡薄膜:实验

铝锰合金表面直流反应磁控溅射制备氧化铟锡薄膜:结果与讨论

铝锰合金表面直流反应磁控溅射制备氧化铟锡薄膜:结论

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