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光化学图像转移技术:光致抗蚀剂膜层的主要成分及作用

放大字体  缩小字体发布日期:2012-05-03  浏览次数:829

   以下主要介绍全水溶性干膜。

   (1)黏结剂

   它是光致抗蚀剂的成膜树脂,使感光胶各组分黏结成膜,它起抗蚀剂的骨架作用。在光致聚合反应中,它不会发生化学反应。

   该物质具有较好的成膜性;与干膜抗蚀剂的其他组分有良好的互溶性;对加工基材金属表面有很好的附着力;在碱性水溶液中能很方便地从基材表面去除。

   通常黏结剂是酯化或酰胺化的聚苯丁树脂,即聚苯乙烯一顺丁烯二酸酐树脂。

   (2)光聚合单体

   光致抗蚀剂胶膜的主要组分就是光聚合单体。它在光引发剂存在时,在紫外线照射下发生聚合反应,生成体型聚合物。不溶于显影液的是感光部分,从而形成抗蚀图像。被广泛应用的光聚合单体是多元醇烯酸酯类以及甲基丙烯酸酯类。

   (3)光引发剂

   在紫外线照射下,光引发剂吸收紫外线的能量,促进光聚合单体交联。通常使用安息香醚、叔丁基蒽醌作光引发剂,用于干膜光致抗蚀剂。

   (4)增塑剂

   三乙二醇双醋酸酯作为干膜增塑剂,可增加干膜的均匀性和柔韧性。

   (5)增黏剂

   苯并三氮唑的加入可增加干膜抗蚀剂与金属铜表面的化学结合力,防止胶膜黏结不牢固而出现起翘现象,造成渗镀等故障。

   (6)热阻聚剂

   为阻止热能对干膜的聚合作用而加入热阻聚剂,使得干膜在生产和应用过程中能有效接受热能。

   (7)色料

   为方便修版和检验工作加入一些孔雀石绿等色料,以使干膜颜色鲜艳。

   (8)溶剂

   通常采用乙醇或丙酮来溶解干膜抗蚀剂的各种成分。

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