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硅片上电镀铅锡合金工艺.pdf

放大字体  缩小字体发布日期:2012-04-05  浏览次数:1088

关 键 词:铅锡合金,硅片,电镀,半导体

作    者:杨红玉 朱国飞

概    述:

    介绍了硅片上电镀铅锡合金工艺,并对镀液中各成分的作用及影响镀层质量的因素进行了探讨。


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