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在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的研究.pdf

放大字体  缩小字体发布日期:2012-03-01  浏览次数:681
本文论述了在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的方法。用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪对其进行了分析表征。溅射镀膜时,通过控制空心微珠的运动方式,在空心微珠表面沉积了一层均匀性好、附着力强和致密性好的金属镍膜。

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