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不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究.pdf

放大字体  缩小字体发布日期:2012-03-15  浏览次数:628
在不锈钢管道溅射镀膜装置上,通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析,得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数.实验结果表明,在压强为80~90 Pa、基体温度为160~180℃的镀膜参数下,不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜.

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